LPC檢測將無塵布的規(guī)范和步驟

來源：深圳科林姆 2020-08-05

在銷售市場上，無塵布種類多種多樣，且用途普遍，但價錢凹凸不平，顧客在購置無塵布時關(guān)鍵根據(jù)無塵布的材料、消化率等來評定無塵布特性和花費。

而在半導(dǎo)體芯片的凈化室中對無塵布細(xì)顆粒物、正離子、ESD等有很高的規(guī)定。因此出示了一些評定無塵布的方式。

無塵布需開展嚴(yán)苛檢測以達到特性適合環(huán)境污染的標(biāo)準(zhǔn)，一般無塵布需開展下列檢測：

1、耐磨損性檢測

一般耐磨損性檢測歸屬于面料物理特性的檢測。但在無塵布的檢測中，由于損壞的全過程會造成細(xì)顆粒物，因而，將無塵布的耐磨損性檢測歸入為環(huán)境污染操縱范疇。

檢測規(guī)范：耐磨損性越強越不易造成細(xì)顆粒物。

2、重量

依據(jù)ASTM-D-3776檢測無塵布企業(yè)總面積的凈重

參照檢測規(guī)范：一般規(guī)定在150－300g/㎡

3、吸水率和吸液速率

依據(jù)規(guī)定，需檢測無塵布的攝取量和消化吸收速度，吸水率體現(xiàn)的是企業(yè)總面積的凈化清潔布的消化吸收液體的ml數(shù)。吸液速度就是指無塵布消化吸收10ml液體需要的時間，之上2種精確測量都須精確測量三次并測算均值

參照檢測規(guī)范：吸水率一般不小于400g/㎡

吸液速率一般不超一秒。

4、IC測試

依據(jù)規(guī)定，判定定量分析地精確測量無機物陰陽離子成分。

參照檢測規(guī)范，在磁帶機制造行業(yè)，一般規(guī)定CL-≤0.03ug/c㎡;SO42-≤0.03ug/c㎡;NO3-≤0.03ugc㎡;Total:＜1.0ug/c㎡

5、NVR檢測

依據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.1節(jié)規(guī)定,檢測企業(yè)總面積上的無揮發(fā)物殘留。NVR檢測是將無塵布侵泡于一定量的有機溶劑中在一定量的時間，隨后將無塵布取下，檢測溶解有機溶劑中的無揮發(fā)物殘留的品質(zhì)。

參照檢測規(guī)范：在磁帶機制造行業(yè)，一般規(guī)定＜3.0ug/c㎡

6、LPC檢測

依據(jù)IEST-RP-CC004.3第六.2.1節(jié)的規(guī)定，對無塵布開展LPC檢測，及無塵布上的液體細(xì)顆粒物數(shù)。LPC檢測是將無塵布侵泡在一定量的DI水里，歷經(jīng)超音波震蕩，檢驗DI水里的細(xì)顆粒物濃度值。

參照檢測規(guī)范：在磁帶機制造行業(yè)，一般規(guī)定＜30counts/c㎡

7、FTIR檢測

傅立葉轉(zhuǎn)變紅外光譜分析檢測

參照檢測規(guī)范：一般不允許有甲基硅油、羥基化學(xué)物質(zhì)、增粘劑。

8、GC檢測

GC檢測是用于剖析無塵布上有機化學(xué)空氣污染物類型和成分的一種方式。

參照檢測規(guī)范：在磁帶機制造行業(yè)，規(guī)定Total:＜10ug

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